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产品简介

超纯水系统专为光学镜片、光学玻璃、光学镀膜、激光元件、光学晶体、蓝宝石光学衬底等精密光学产线清洗工序（超声波清洗、喷淋清洗、兆声波清洗、镀膜前预清洗）。光学产品对水中颗粒、TOC、硅、溶解氧、细菌极其敏感，杂质极易造成镜片水印、斑点、麻点、镀膜针孔、膜层脱落、光学透过率下降、良率损失。

系统采用预处理 + 双级 RO+EDI+185nm UV-TOC消解 + 脱气膜 + 抛光混床 + 终端超滤 + 闭式循环管网全膜法纯化路线，全自动运行、无酸碱再生、低 TOC、低颗粒、低溶解氧，水质对标ASTM D5127电子级超纯水标准，适配高精度光学产线连续稳定供水。

适用场景：光学冷加工清洗、镀膜前清洗、AR/IR/增透膜、光学晶体抛光清洗、镜头组件清洗、实验室光学检测用水。

恒创环保所有纯水系统和设备

根据用户需求（URS）定制，并提供全程上门安装和售后服务

光学行业超纯水系统

光学用超纯水解决方案采用全膜法纯化 + 末端精处理闭式循环工艺，针对光学清洗、镀膜工序对低 TOC、低颗粒、低溶解氧、低硅的严苛要求，产出符合电子级标准的 18.2MΩcm 超纯水，自动化程度高、水质稳定，减少光学产品表面瑕疵，适配各类精密光学制造产线。

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水质指标

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等级	电阻率	TOC	DO	颗粒	金属离子	二氧化硅	细菌
普通光学	18.2 MΩ·cm	≤5 ppb	≤20 ppb	≤100 pcs/L	≤0.1 ppb	≤1 ppb	≤1 CFU/L
精密光学	≥18.2 MΩ·cm	≤3 ppb	≤5 ppb	≤10 pcs/L	≤0.05 ppb	≤0.5 ppb	≤0.1 CFU/L

水质指标

完整工艺流程

原水箱 → 原水泵 → 多介质过滤器 → 活性炭过滤器 → 全自动软化器 → 阻垢加药装置 → 5μm保安过滤器 → 一级RO高压泵 → 一级反渗透RO → 一级RO产水箱 → pH调节加药 → 二级RO高压泵 → 二级反渗透RO → 二级RO产水箱 → EDI电去离子装置 → 185nm UV TOC消解器 → 脱气膜组件（DO脱除） → 超纯水箱（氮封） → 超纯水泵 → 抛光混床（核子级树脂） → 254nm UV杀菌 → 0.1μm终端超滤 → 车间循环管网 → 用水点；管网回水回到超纯水箱

各单元功能说明

1. 预处理单元（保护RO膜，控SDI、余氯、硬度）

· 多介质：去除悬浮物、胶体，控制浊度

· 活性炭：吸附余氯、有机物，保护RO膜不被氧化

· 软化器：去除钙镁硬度，防止RO结垢；高硬度原水标配

· 5μm 保安过滤器：拦截破碎滤料，保护高压泵与RO膜元件

2. 双级反渗透RO（预脱盐主体）

· 一级RO脱盐率≥98%，二级RO脱盐率≥99%，大幅降低离子、硅、有机物负荷，减轻EDI压力；光学对硅敏感，双级RO是标配，单级RO不推荐镀膜产线

3. EDI电去离子（连续深度脱盐）

· 替代传统复床，无酸碱再生，连续产水，产水电阻率稳定15–17.5MΩcm，去除剩余离子与部分硅

4. 185nm UV TOC紫外消解

· 氧化分解水中微量有机物，把TOC降到低ppb级别，光学镀膜核心单元，避免有机物高温烘烤形成碳污点

5. 脱气膜（中空纤维膜脱气）

· 脱除 CO、溶解氧；DO过高会造成镀膜氧化、膜层色差；高端光学、激光元件必须配置

6. 氮封超纯水箱

· 隔绝空气，防止CO、氧气、灰尘反向溶入污染水体；水箱材质PVDF/316L-EP

7. 抛光混床（核子级均粒树脂）

· 末端离子精处理，拉满电阻率至18.2 MΩcm，深度去除痕量硅、硼、金属离子；树脂为一次性核级树脂，不现场再生

8. 254nm UV杀菌 + 0.1μm终端超滤

· UV抑制细菌繁殖；终端超滤截留颗粒、胶体、树脂碎屑，是防止镜片划伤、斑点的最后屏障

9. 闭式循环管网系统

· 材质：316L-EP不锈钢/PVDF高纯管道，轨道焊、酸洗钝化；管网保持持续循环，避免死水滋生细菌、析出颗粒；每个用水支管配独立终端滤器、取样阀、在线电阻率/TOC测点

材质选型要点

· 普通纯水UPVC不可用于抛光段以后，会析出有机物，造成TOC超标

· 预处理段：FRP、UPVC、304不锈钢

· RO、EDI管路：UPVC/CPVC

· EDI之后超纯水段：316L-EP电解抛光管道、PVDF管件；卡盘/自动轨道焊，减少死角

· 超纯水箱：316L-EP内衬或PVDF材质，氮封呼吸器配0.05μm疏水滤器

· 密封件：EPDM、PTFE，禁止普通橡胶

· 过滤器壳体：PVDF/316L-EP；滤膜：PES、PTFE高纯滤膜

在线监测仪表配置

1. 全部信号接入PLC，超限声光报警、记录日志

2. 预处理：原水浊度、SDI在线监测、余氯、硬度（定时取样）

3. RO段：一级 / 二级产水电导率、流量、压力、ORP

4. EDI产水：电阻率

5. 超纯水主回路：在线电阻率（25℃温补）、TOC在线分析仪、DO溶解氧、颗粒计数器（0.1μm）

6. 循环管网多点取样口，可离线检测硅、金属离子、细菌

自控系统设计

1. 整套系统PLC+10寸HMI触摸屏，本地控制；支持Modbus对接上位机/MES

2. 水箱液位连锁、泵组变频、高低压保护、膜清洗自动程序（CIP）

3. 过滤器压差报警、树脂失效报警（电阻率跌落预警）、UV灯管寿命计时提醒

4. 数据存储≥1年，支持导出报表（水质、流量、报警记录，用于产线良率追溯）

5. 自动CIP清洗程序：RO膜定期碱洗 + 酸洗，UV、UF在线冲洗

水系统综合服务

提供系统设计咨询、设备制造、验证咨询、升级改造、运营等全流程服务

针对超纯水系统、纯化水系统，反渗透设备、水分配系统解决方案

系统解决方案

优化管路设计

产水和回水循环运行，降低系统死角，避免微生物滋生

立体式服务

客户URS需求分析，系统设计、安装、调试、验证、培训，售后快速响应、长期服务

选择优质原材料，制造按标准化流程严格质检

高品质产品制造

按需量身定制

设备标准化

验证咨询服务

全面了解客户对产品规格、产品工艺、系统配置等需求量身定制设计

设备制造生产图纸化，标准化，流程化，保障设备质量

提供FDA验证咨询及系统DQ、FAT、IQ、QQ、SAT、PQ验证资料

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EDI模块技术

超纯水EDI设备又称电除盐，它巧妙的将电渗析技术和离子交换技术相结合，通过阴阳离子交换膜对阴阳离子的选择性透过作用与离子交换树脂对离子的交换作用，在直流电场的作用下实现离子的定向迁移，从而完成水的深度除盐，同时水电离解产生的氢离子和氢氧根离子对离子交换树脂进行再生，因此不需要酸碱化学再生而能连续制取超纯水，常用于医药用水行业、电子行业、锅炉水处理，饮料行业兑用纯水等领域。